一、商品化名稱：Ni-Cr-Mn-Y薄膜合金電阻
二、開發團隊資訊
| 材料工程研究所 | 李英杰 | 教授 |
三、開發理念
在行動資訊蓬勃發展的時代，高科技的電子類產品的研發往輕、薄、短、小及方便性是市場的趨勢，被動元件的尺寸大小從市場需求0805規格已往0603或0402規格前進。在晶片電阻方面，電阻器可分為厚膜電阻與薄膜電阻。薄膜電阻是以物理氣象沉積(PVD)製程方式於氧化鋁基板上沉積電阻層，加上薄膜電阻器比厚膜電阻器的均勻性、電阻率與尺寸都較優越，使得電阻器往尺寸更小且精密度高的薄膜電阻器發展。薄膜電阻主要要求為低電阻溫度係數(TCR，±50 ppm)及電阻值精確度(±0.1 %)；為符合此規格，薄膜組成為設計重點，本計畫以Ni-Cr-Mn-Y薄膜合金電阻推動技術商品化，也已獲得發明專利(I525196)。
四、技術競爭力及產業應用性
產品規格: 0603 100KΩ之薄膜晶片電阻器，其容差在±0.1%以內，TCR可達 ±50ppm/℃。
五、商品化成果說明
使用Ni0.45-Cr0.27-Mn0.13-Y0.16之比例鑄造濺鍍合金靶，利用DC磁控濺射製備Ni-Cr-Mn-Y電阻薄膜。當退火溫度設定為400℃時，Ni-Cr-Mn-Y薄膜有Ni17Y12之結晶相產生。在退火300 ℃時，從TEM中並沒有發現明顯的結晶。電性分析中，退火300 ℃時，電阻率約為480 μΩ-cm，且擁有最佳的平均TCR值+30 ppm/℃。